AutoSpec 3 上的捕集电流限制问题 - WKB8643
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故障描述
- 无论滑块设置如何,捕集电流都很低或为零
- 灯丝电流为 5 A
- 更改为 CI+ 模式(发射控制)显示灯丝响应正常
环境
- AutoSpec Premier
- AutoSpec Ultima
原因
离子源内的捕集孔堵塞或捕集接头本身与离子源短路。
解决方法
- 测量捕集接头(EI 内部源的底部黄铜接头)和离子源之间的电阻。如果不是断路,请拆卸源并检查是否存在短路。
- 如果灯丝烧断,线圈掉入内部源中并使捕集阱与主离子源发生短路时,此类错误很常见。如果将内部源旋转 90 度(例如,使用内部源探头将其拆下),这种情况可能会间歇性发生。
- 如果电阻为断路,请取下出口板,检查离子源内的捕集孔是否有堵塞物。
- 拆卸并清洁内部源(请参阅相关文章 WKB64202)。