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Waters China

AutoSpec 源加热器不加热 - WKB80051

故障描述

  • 离子源温度回读无法达到设定值
  • 请求加热器启动时,外部源没有“点亮”;设定值高于回读

环境

  • AutoSpec Premier
  • AutoSpec
  • MassLynx 软件

原因

一个或两个源加热器损坏。

解决方法

  1. 验证确认源和分析器离子真空计已打开,并且源真空读数正确。
  2. 将源温度设置为较高的值(例如 280 °C)。
  3. 确认外面的离子源模块的两边都在发光。
  4. 打开 Telnet 窗口,查看 3481200DC1-S 源控制 PCB 反馈:
    1. 通过 Windows“开始”/“运行”菜单打开 Telnet 窗口:
    2. 在“运行打开”对话框中键入“Telnet epc”,启动并打开 Telnet 窗口。
    3. 在 Telnet 提示符中键入“rmm”(全部为小写字母,“r”“m”“m”代表 rioMainMenu)。
    4. 指定“3”访问子系统,指定“4”访问 3481200DC1-S 源控制 PCB,然后指定“3”显示源控制 PCB 回读的快照。
    5. 将源温度设置为高于回读,然后在 Telnet 窗口中键入“3”以列出加热器正常打开时的回读。
      • 工作的源加热器将显示以下信息:
        • 1503.    SourceHeaterVoltageRb    7.254902(实际值可能随设定值和回读之间的温差而不同)
      • 开路源加热器将显示以下信息:
        • 1503.    SourceHeaterVoltageRb    24.xxx
    6. 将源设置为 0,在 Telnet 窗口中键入“3”,以列出加热器关闭时的回读。
      • 工作的源加热器将显示以下信息:
        • 1503.    SourceHeaterVoltageRb    0.xxx
    7. 上面的回读表明 3481200DC1-S 源控制 PCB 电气正常,表明源加热器开路。
    8. 重复在 Telnet 框中键入“999”,直到出现 -> 提示符。
    9. 关闭 Telnet 窗口。
  5. 按照标准系统操作程序排放源区域,并拆下外部源装置。
  6. 使用设置为电阻测量的数字电压表(如果手动设置刻度,则设置为 0 到 10 欧姆),测试仪表线的短路电阻:
    1. 同时触摸测试线并记录电阻:预期为 0 到 0.5 欧姆。
    2. 如果读数较高,请尝试使用新的测试导线或其它数字电压表。
  7. 请参阅外部源技术参考,电路将测量通过外部源加热器电路的电阻。
    1. 测量左侧接触轨引脚 7 和 8 之间的电阻。
    2. 预期电阻为 0.5 至 1.5 欧姆。
    3. 如果测量到高电阻或开路电阻,则说明其中一个或两个加热器发生了故障,需要更换。
  8. 最好同时更换两个加热器。订购两个 M702867AD1 - 源加热器
  9. 确保绝缘/端子连接端的加热器连接没有短路。
  10. 使用上述步骤重复测量电阻最终确定构建,并测量离子源块与聚焦镜 1 透镜板之间的电阻值。
    1. 电路开路,电阻无限大。
    2. 如果测得的电阻值低/短路,请检查离子源块与聚焦镜 1 透镜之间的灯丝护板是否短路。

附加信息