源压力测试由于漏液而失败 - WKB3892
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故障描述
- 源压力未达到 100 mbar
- 面板通道显示气源正确，但存在少量漏液
- 控制台中出现错误：Source pressure test leak warning（源压力测试渗漏警告）
- 控制台中出现错误：Source pressure test failed（源压力测试失败）
- 真空度在预期范围内
- 废液瓶和排放连接牢固
- 合页固定点牢固
- 离子源的定位销未损坏
环境
- Xevo TQ MS
- Xevo G2-XS
原因
损坏的 O 形圈导致前端有轻微的真空漏液，使源无法加压至 100 mbar。
解决方法
更换离子源法兰盘和泵总成分组件之间的 BS039 O 形圈 (5711130)。[1]