TQD 无法达到真空状态，分子泵转速仅达到 20% - WKB112518

故障描述

• 系统抽真空超时
• 分子泵只能达到 20% 的转速
• 离子源外壳打开时，您可以听到源密封件渗漏的声音

环境

• TQ 检测器
• SQ 检测器

原因

源 O 形圈渗漏

解决方法

1. 拆开源，然后在固定离子源的 PEEK 法兰盘上重新安装或更换 O 形圈（视情况而定）。
2. 重新组装源并启动真空系统。
3. 确保涡轮转速达到 100%。

附加信息