如何在 AutoSpec 上实现双聚焦？- WKB96018 最后更新 另存为PDF 文章编号: 96018点击此处访问英文版本文章 目的 解释 AutoSpec 的双聚焦原理和灵敏度增益。 环境 AutoSpec Premier AutoSpec Ultima 步骤 请参阅附件。 附加信息 请参阅 WKB96016 了解有关 ESA 原理的信息，参阅 WKB96020 了解 Y 聚焦镜的作用。 id96018, AUTOSPEC, AUTOSPEC-P
