Ebara 泵停电后无法抽真空；错误“Uu1”- WKB95190

故障描述

• 仪器在计划外停电期间卸真空
• Ebara 前面板上显示错误代码“Uu1”，表示电压不足
• 仪器和 PC 已重新启动
• 已建立完整的仪器通讯

环境

• Select Series Cyclic IMS QTof
• Xevo TQ-XS
• Ebara EV-SA30 泵

原因

Ebara 泵上错误代码锁定

解决方法

1. 断开 Ebara 泵的主电源 10 min。
2. 重新连接主电源。
3. 让仪器抽真空。
4. 检查仪器是否正确抽真空。

附加信息