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SQD 2 错误:分子泵控制器出错 - WKB8866

故障描述

  • 错误信息:Turbo controller fault(分子泵控制器出错)

环境

  • SQD 2
  • MassLynx

原因

清洗样品锥孔后,离子源处发生渗漏。

修复/解决方法

更换样品锥孔密封(700004321;O 形圈,尺寸 10)。

附加信息