ACQUITY TQD 随机卸真空 - WKB83192

故障描述

• ACQUITY TQD 卸真空没有错误
• 旋转泵已停止泵送
• 卸真空崩溃后无法立即重新启动泵

环境

• ACQUITY TQD

原因

旋转泵过热，导致其关闭。

解决方法

1. 等待旋转泵冷却到低温度状态。
2. 从 Tune 页面重新启动泵送序列。

附加信息

本文示例中使用的旋转泵是 Leybold SV40 BFIC V3010 型号。其最高操作温度为 40 ℃。

如果泵位于噪音箱中，请确保所有风扇都在旋转，并且噪音箱可以调节温度，不会过热。