Ebara 泵上的错误代码“oL2”是什么意思？ - WKB57184

环境

• Synapt G2-Si
• Synapt XS
• SELECT SERIES Cyclic IMS
• Vion
• Xevo TQ-S
• Xevo TQ-XS

答案

“oL2”或“ol4”错误表示 Ebara 泵上的驱动器过载。这意味着排放管路出现堵塞或扭结。

附加信息

• 解决排放管路中任何明显的扭结或阻塞问题。
• 如果泵排放管路已连接到实验室排放系统，请暂时将其断开，并将其通到合适的通风橱中，以检查泵是否正常运行。