AutoSpec 上出现真空度错误:Off After Low Emission(低发射后关闭) - WKB55829
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故障描述
- 离子真空计的Tune Status(Tune状态)和 Vacuum Control(真空控制)页面中出现 Off After Low Emission(发射低后关闭)错误信息
- 无法打开离子真空计; 无法读取真空度读数
环境
- AutoSpec
- AutoSpec Premier
原因
离子真空计的灯丝断路和/或对地或电网短路。
解决方法
- 进行任何测量之前,请检查真空计导线的电阻;同时触碰黑色和红色测量导线。
- 电阻读数应该非常低,理想情况为小于 1 欧姆。
- 测量离子真空计末端法兰上引脚 7 和 8 之间的电阻。
- 如上所述,真空计导线的电阻应小于 1 欧姆,表明灯丝正常。
- 如果电阻非常高/无限大 -“开路”- 灯丝已故障,必须更换。
- 离子真空计灯丝的部件号:7991802 - IR23 FILAMENT (VIG 8)
- 完整离子真空计组件的部件号:700012500 - GAUGE ION VIG 8 KF40
- 但是,如果电阻正常,约为 1 欧姆,则怀疑灯丝未正确连接 - 短路 - 接地或离子真空计网格。
- 测量引脚 7 或引脚 8 与仪器外壳/接地之间的电阻。
- 正常情况应该是出现较高的断路电阻。
- 电阻低表示发生了短路,需要进行整流。
- 测量从销7 或销8 中任意一个到其余所有针(1 到 6,然后是中心销)之间的电阻。
- 正常情况应该是出现较高的断路电阻。
- 电阻低表示发生了短路,需要进行整流。
- 进行电阻检查时,可能不会测到电阻。
- 灯丝可能非常靠近仪器外壳/网格,只有在提供电压和电流时才能真正连接。
- 如果分析器的“分析区”区域仍然显示错误,请测试两个离子真空计是否出错:
- 断开分析器 2 离子真空计的连接器 (BB350),然后尝试打开分析器 1 离子真空计。
- 如果可以看到读数,则问题出在分析器 2 离子真空计中。
- 同样,断开分析器 1 离子真空计的连接器 (BB150),然后尝试打开分析器 2 离子真空计。
- 如果可以看到读数,则问题出在分析器 1 离子真空计。
- 断开分析器 2 离子真空计的连接器 (BB350),然后尝试打开分析器 1 离子真空计。
- 在完成所有真空处理步骤后,必须拆下离子真空计,并且必须用小螺丝刀或镊子仔细调整灯丝以清除短路。
- 注意:切勿空手触摸离子真空计的灯丝。 灯丝采用钍涂层,具有弱放射性。