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AutoSpec 真空度错误:Off After Low Emission(低发射后关闭)- WKB55829

故障描述

  • 离子真空计在 Tune Status(Tune状态)和 Vacuum Control(真空度控制)页面中显示错误信息 Off After Low Emission(低发射后关闭)
  • 无法打开离子真空计;无法读取真空度读数

环境

  • AutoSpec
  • AutoSpec Premier

原因

离子真空计的灯丝断路和/或接地短路。

解决方法

  1. 进行任何测量之前,请检查真空计导线的电阻;同时触碰黑色和红色测量导线。
    • 电阻读数应该非常低,最佳情况为小于 1 欧姆。
  2. 测量离子真空计末端法兰上引脚 7 和 8 之间的电阻。
    • AutoSpec_Ion_Gauge_Connection_Flange_External.jpg
  3. 如上所述,真空计导线的电阻应小于 1 欧姆,表明灯丝正常。
  4. 如果电阻非常高/无穷大或断路,表示灯丝出现故障,必须进行更换。
  5. 如果电阻良好(小于 1 欧姆),则怀疑内部灯丝接地(短路)。
  6. 测量引脚 7 或引脚 8 与仪器外壳/接地之间的电阻。
  7. 正常情况应该是出现较高的断路电阻。
  8. 电阻低表示发生了短路,需要进行整流。
  9. 完成所有真空处理步骤后必须移除离子真空计,必须小心地调整灯丝以清除短路。
    • 注:切勿赤手触摸离子真空计灯丝。灯丝上涂有钍,具有轻度放射性。
    • 测量接地之前,可能没有电阻。灯丝可能靠近仪器外壳,仅在提供电压和电流时才能实现真正的连接。
    • 如果分析器区域显示错误,请测试两个离子真空计是否发生了接地短路。
    • 断开分析器 2 离子真空计连接器 (BB350) 的连接,然后尝试打开分析器 1 离子真空计。如果显示读数,表明是分析器 2 离子真空计出现问题。
    • 同样,断开分析器 1 离子真空计连接器 (BB150) 的连接,然后尝试打开分析器 2 离子真空计。如果显示读数,表明是分析器 1 离子真空计出现问题。

附加信息