用于 RDa 的 UNIFI 中出现错误 Blocked Aperture - WKB53240
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故障描述
- UNIFI 中出现错误 Blocked Aperture（离子源孔堵塞）
- 反压回读低于预期值 1.0 mbar
环境
- RDa 检测器
原因
离子源孔堵塞
解决方法
- 超声处理离子源孔。
- 重新安装离子源孔并确认反压正常（通常为 1.4 mbar）。
- 如果超声处理无法恢复正常的初级真空（解决问题），请更换带孔圆片（部件号 700012106）
请参阅《概述和维护指南》第 3.8 节
附加信息
id53240, RDA