Xevo QTof 无法抽真空 - WKB52412 最后更新 另存为PDF 文章编号: 52412点击此处访问英文版本文章 故障描述 启动初级泵,但反压保持在 1.0e3 mbar 初级泵油位正确 分子泵不启动 环境 Xevo QTof 原因 需要更换初级泵。 解决方法 更换初级泵。 重新启动真空系统。 确保分子泵启动并达到正常真空压力。 附加信息 id52412, turbo pump, XEVOQTOF