抽真空期间 TOF 分子泵转速不提高 - WKB52330

故障描述

• 仪器卸真空

• 尝试抽真空时，TOF 分子泵转速保持在 2%

环境

• Xevo G2-XS QTof

原因

分子泵控制器出错

解决方法

1. 关闭电路（将泵手动控制开关保持在 AUTO（自动）位置）。

2. 从墙上的电源插口上拔下主电源线。

3. 等待 MS 断电 15 分钟。

4. 将主电源插到插口中。

5. 等待 2 分钟。

6. 将电路开关转到 ON（开）位置。

7. 等待 EPC 启动序列完成。

8. 对仪器抽真空。

9. 验证所有涡轮速度都高于 80%。

附加信息