清洗离子源后,涡轮泵速度为 50% - WKB48459
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故障描述
- 离子源已清洗,包括移除锥孔气体定位块
- 系统开始泵送,但分子泵达不到 100% 的速度
- 系统自动排空
环境
Vion IMS QTof
原因
碟形弹簧未正确安装。
解决方法
- 排空系统。
- 按照正确的顺序安装四个碟型弹簧。
- 重新安装锥孔,并确保锥孔气体喷嘴安装正确。
- 对系统进行抽真空,并验证涡轮速度是否达到 100%。
附加信息
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