MS 机械泵不启动 - WKB29777

故障描述

• MS Tune 页面发送泵命令后，机械泵不启动

环境

• MS 系统

原因

连接插座与低真空泵的电源线断开或松动，主电源插座没有电，或断路器跳闸/保险丝熔断。

解决方法

1. 确认电源线两端的连接正确
2. 请有资格的电工检查机械泵插座上的电压，并检查（必要时更换）插座的保险丝或断路器。
3. 解决机械泵电源问题后，通过 Tune 页面 Vacuum（真空）菜单重启仪器真空系统。

附加信息