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QDa源压力测试失败 - WKB287546

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文章编号: 287546点击此处访问英文版本文章

故障描述

  • QDa源压力测试失败

环境

  • QDa

原因

离子源体内腔和密封之间的密封不良/排放管安装不正确

解决方法

  1. 重新安装离子源体内腔。
  2. 重新安装排放管。
  3. 重新运行源压力测试：

附加信息

 

id287546, pressure test, QDA