清洗样品锥孔后 SYNAPT XS 源分子泵出错 - WKB259300
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故障描述
- SYNAPT 无法抽真空,清洗样品锥孔后出现源分子泵错误
环境
- Synapt XS
原因
样品锥孔 O 形圈未对齐
解决方法
拆下样品锥孔,确认 O 形圈固定到位。
- 如果怀疑 O 形圈周围存在渗漏,请将源温度设置为 150 °C,持续 1 h,以改善 O 形圈固定的位置。
附加信息
id259300, SYNAPTXS