QDa 分子泵超时错误 - WKB247921 最后更新 另存为PDF 文章编号: 247921点击此处访问英文版本文章 故障描述 MS 控制台中出现分子泵超时错误 环境 QDa 原因 旋转泵的油用尽并停止泵送。 解决方法 将泵油重新填充达到正确油位。 附加信息 id247921, QDA, turbo pump
