分子泵速度仅达到70% - WKB2421
文章编号: 2421点击此处访问英文版本文章
故障描述
- 分子泵速度仅达到70%,然后超时,导致机械泵停机
环境
- SQD,3100,SQD2,TQD
- Xevo TQD,Xevo TQ,Xevo TQ-S,Xevo TQ-S micro,Xevo TQ-XS
- ZQ,Quattro Micro,Quattro Ultima,Quattro Premier/XE
原因
离子源模块渗漏
解决方法
- 更换离子源模块中的所有O形圈
附加信息
A-SQ, SQD, SQD2, XEVOTQD, XEVOTQDIVD, ZQ2000, ZQ2000SFC, ZQ4000