分子泵速度仅达到70％ - WKB2421

故障描述

• 分子泵速度仅达到70％，然后超时，导致机械泵停机

环境

• SQD，3100，SQD2，TQD
• Xevo TQD，Xevo TQ，Xevo TQ-S，Xevo TQ-S micro，Xevo TQ-XS
• ZQ，Quattro Micro，Quattro Ultima，Quattro Premier/XE

原因

离子源模块渗漏

解决方法

1. 更换离子源模块中的所有O形圈

附加信息