Xevo TQ-S micro分子泵控制器出错 - WKB240093
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故障描述
- 分子泵控制器 fault（分子泵控制器故障）
- 排放压力偏高事故
- 运行期间的仪器放空
- 抽真空无错误
环境
- Xevo TQ-S micro
- Xevo TQ-S cronos
- Xevo TQ-S
- Xevo TQ-XS
原因
初级泵的排放管皱缩。
解决方法
更换管路，并确保没有急弯。
附加信息
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