清洗样品锥孔后压力过高 - WKB219635
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故障描述
- 压力过高
- 分子泵速度未达到 100%
- 隔离阀关闭时真空度正常
环境
- SQD
- TQD
原因
样品锥孔周围渗漏
解决方法
- 重新安装样品锥孔和 O 形圈。
- 如有需要，请更换样品锥孔 O 形圈 (700001194)。
附加信息
id219635, A-SQ, SQD
样品锥孔周围渗漏
id219635, A-SQ, SQD