SYNAPT G2-S 无法抽真空 - WKB19778
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故障描述
- 无法抽真空
- 分子泵超时
环境
- Synapt G2-S
原因
泵控制盒的气源已关闭。供气压力应调节为 2.8 至 4.2 bar（40 至 60 psi）之间。
解决方法
恢复气源并抽真空。
附加信息
气体供应至前级管路中的气动阀。如果前级泵未拉动出口，分子泵不会旋转。
id19778, pump control, SYNG2SHD, SYNG2SHDML, SYNG2SIMS, SYNG2SMS, SYNG2SMSML