QDa 仪器尝试多次才能达到真空度 - WKB1958

故障描述

• QDa 在初始启动时无法抽真空
• 关闭电源并重复启动可使系统进行抽真空，但抽真空所需时间比预期长得多
• 抽真空后，分子泵功率稳定
• QDa 功率回读很高 (>70 W)
• QDa 分子泵转速不超过 50％

环境

• ACQUITY QDa(Performance)

原因

机械泵未以最佳的效率运行，通常是由于泵中缺少油（集油器可能已满）。也可能是泵故障所导致。

解决方法

1. 维护泵，更换油，并确保没有渗漏。
2. 如果出现持续故障，则可能需要更换泵 (700009636)。

附加信息