Xevo TQ-S micro，TQD 质谱检测器，SQD 质谱检测器无法抽真空 - WKB19184
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故障描述
- 涡轮泵速度只能达到 6%
- 旋转泵没有声音
- 旋转泵供电的出口电压正常
- 旋转泵电源线正常，保险丝完整
环境
- Xevo TQ-S micro
- TQD 质谱检测器
- 旋转泵
- Leybold Sogevac SV40BI
原因
旋转泵故障
解决方法
更换旋转泵。
附加信息
Sogevac SV40BI 部件号 186006347
id19184, A-SQ, fuse, SQD, TQD, TQDIVD, XEVOTQSMIC