离子导入器区域的高真空度错误 - WKB1543
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故障描述
- 系统状态错误:High vacuum error for Ion guide region(离子导入器区域的高真空度错误)
- 离子源维护后出错
- 离子导入器 Pirani 回读 = 3.5 e-3(正常 = 5 e-5)
- 隔离阀关闭后,压力降至 9e-5 以下
- 隔离阀打开后,压力升回至 4 e-3
环境
- Xevo TQ-S
原因
样品锥孔 O 形圈损坏
解决方法
- 更换样品锥孔 O 形圈 (700004321)。
附加信息
id1543, 皮拉尼