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Waters China

系统在打开隔离阀的瞬间开始排气 - WKB14997

故障描述

  • 系统根据抽真空命令开始抽真空,但分子泵速度没有变化
  • 如果关闭隔离阀,几分钟内所有分子泵的压力都将达到 100%
  • 如果打开隔离阀,分子泵速度会开始下降,系统排气
  • 锥孔最近清洗过
  • O 形圈仍存在

环境

  • Synapt G2-Si

原因

锥孔损坏

解决方法

更换锥孔。

附加信息

从锥孔强行取下 O 形圈时,会产生凹槽/通道,导致密封不佳。