系统在打开隔离阀的瞬间开始排气 - WKB14997

故障描述

• 系统根据抽真空命令开始抽真空，但分子泵速度没有变化
• 如果关闭隔离阀，几分钟内所有分子泵的压力都将达到 100％
• 如果打开隔离阀，分子泵速度会开始下降，系统排气
• 锥孔最近清洗过
• O 形圈仍存在

环境

• Synapt G2-Si

原因

锥孔损坏

解决方法

更换锥孔。

附加信息

从锥孔强行取下 O 形圈时，会产生凹槽/通道，导致密封不佳。