SQD2 在进行 PM 后无法抽真空 - WKB14286 最后更新 另存为PDF 文章编号: 14286点击此处访问英文版本文章 故障描述 分子泵速度未达到 80% 环境 SQD2 原因 离子源模块连接过紧。 解决方法 将螺钉拧松约 1/8 圈。 附加信息 id14286, A-SQ, SQD2
