Xevo TQ 无法抽真空 - WKB12377 最后更新 另存为PDF 文章编号: 12377点击此处访问英文版本文章 故障描述 分子泵速度不超过 50% MS 无法抽真空 环境 Xevo TQ 原因 隔离阀 O 形圈渗漏。 解决方法 更换隔离阀 O 形圈 (700000902)。 附加信息 id12377,
