Ebara 泵在抽气过程中无法持续运行 - WKB109018

故障描述

• 仪器放空后，Ebara 泵开始抽气，但在 10–20 秒后停机
• Ebara 泵显示 OL2、OL3 或类似错误代码
• 关闭泵电源可重置错误，但再次抽气时，泵仍会停机

环境

• Synapt G2-Si
• Synapt G2-XS
• Xevo TQ-XS

原因

泵检测到通往抽排系统的排气管中存在较高背压。

解决方法

1. 关闭 Ebara 泵电源以重置错误。
2. 从抽排系统的排气口拆下排气管。
3. 在调谐页面启动抽气序列。
4. 30 秒后，可将排气管重新接回墙壁排气口，泵将继续运行。

附加信息

应进行调查，以确定管路中产生初始背压的原因（例如，管路中的流量控制器或风扇未运行）。